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离子减薄仪

减薄仪主要用于制备透射电子显微镜所用样品的设备,它适用于制备多种金属材料、非金属天然矿石材料、半导体材料等各种块状样品。为提高其使用寿命和开机率,更好地为教学、科研、科技开发服务

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产品详情

技术参数:
离子源
离子枪:两个具有低能聚焦特性的潘宁离子枪
减薄角度:+10° 到 -10°, 每个离子枪均可独立调节
离子束能量:100 V 到 8.0 kV
离子束流密度:10m A/cm2 峰值
离子束对中:利用荧光屏精确对中
离子束直径:可由气流控制器或放电电压来调节

样品台
样品大小:3 mm 或 2.3 mm
样品旋转:1 到 6 rpm 连续可调
束流调制:扇形范围可调的单束调制或双束调制
X, Y 平移:在 X 和 Y 方向上各 +/- 0.5 mm

真空系统
干泵系统:两级隔膜泵支持 80 升/秒的涡轮分子泵
压力:5×10-6 托基本压力,8×10-5 托工作压力
真空规:冷阴极型,用于主样品室:固体型,用于前级机械泵

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